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半导体废气治理方案

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项目概述Project overview当今世界各国面临的重大社会问题,集中表现为粮食、能源、人口、资源、环境等五个方面。我国的大气污染严重,降尘量是全球陆地平均降尘量的一倍多,二氧化硫排放量高出全球陆地降平均排放量的40%。随着高新技术的发展,给环境造成新的污染,例如金属有机化学气相淀积(MOVPE)是一类非…
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